제품 이름: 지르코늄 스퍼터링 타겟

재료 등급: Zr702(ASTM B493 등급 R60702)

순도 등급: 99.95% (3N5) 금속- 기반(Hf-무료)

핵심 응용 분야: 첨단 반도체 패키징, 광학 코팅, 태양전지 후면 전극, 마이크로 전자 상호 연결 층(PVD 공정)

제조 표준: ASTM B493/B493M-14(지르코늄 및 지르코늄 합금 단조품에 대한 사양) 및 SEMI M13-1102(스퍼터링 타겟에 대한 일반 사양)을 준수합니다.

지르코늄 스퍼터링 타겟의 이론적 밀도는 6.51g/cm3, 밀도는 99.0% 이상, 열전도도는 22.6W/m·K, 열팽창 계수(20~300도)는 5.7×10⁻⁶/K입니다. 이러한 매개변수는 표준 어닐링 상태의 고순도 Zr702 타겟에 대한 측정값이며, 고전력 DC/RF 마그네트론 스퍼터링 애플리케이션에 적합하고 순도 99.9% 재료보다 우수한 열 안정성을 나타냅니다.

제품 표면 품질 및 미세구조 요구사항:

입자 크기: EBSD(전자 후방 산란 회절)로 측정한 50μm(평균) 이하, 입자 크기 분포의 표준 편차는 15μm 이하입니다.

표면 거칠기(Ra): 0.8μm 이하, 3D 광학 프로필로미터(ISO 4287)를 사용하여 측정, 긁힘, 압흔 및 패임 없음.

Cracks/Delamination: Not permitted. Measured using ultrasonic C-scan (ASTM E213), any crack >0.5 mm in length or delamination >1mm²는 거부됩니다.

미세구조: 균일한 등축 -상 구조. SEM(500× 배율), 기공, 함유물 및 분리가 없음.

모든 타겟은 HIP(열간 등압 성형)로 치밀화되어 180 MPa 이상의 입자 경계 결합 강도를 보장하며 500시간 이상의 연속 스퍼터링 후에도 박리 실패가 발생하지 않는다는 요구 사항을 충족합니다.

지르코늄 스퍼터링 타겟의 포장 및 배송 사양(GHS 및 IEC 준수):

내부 포장: 진공 밀봉(1×10⁻³ mbar 이하) + 고순도-아르곤(99.999%)으로 채워져 있으며 ASTM F2095를 준수합니다.

외부 포장: 이중-방습-알루미늄 호일 백 + EPE 쿠션 폼 + 나무 상자(ISPM-15 준수), IEC 60068-2-78.

수분 보호 라벨: 방습- + 습도 표시 카드(5% RH 이하), IEC 60068-2-30을 준수합니다.

MSDS/SDS: Zr 분진 폭발 위험(P201, P261, P304+340), OSHA 29 CFR 1910.1200을 포함하여 16개 표준 섹션이 포함된 GHS 7차 개정을 준수합니다. 배송 라벨: UN 1399(비-인화성 고체 금속) + 부식성 물질.

각 상자에는 건조제 패킷(실리카겔)과 습도 기록기가 포함되어 있습니다. 운송 전반에 걸쳐 온도 조절: 5~30도, 상대 습도 40% 이하.

FAQ

Q: 지르코늄 스퍼터링 타겟에 대한 일반적인 고객 사례 연구를 제공할 수 있습니까?

A: TSMC, 삼성전자, Intel, SK Hynix를 포함한 세계 10대 반도체 제조업체는 모두 지르코늄 타겟의 간접적인 최종 사용자입니다.{0}} 이들의 첨단 공정(예: 5nm 미만 노드)은 Applied Materials Endura® 및 Lam Research Kiyo®와 같은 PVD 장비를 사용하여 증착된 금속 장벽 층, 인터페이스 패시베이션 층 및 상호 연결 구조에 Zr702 타겟을 널리 활용합니다. 따라서 지르코늄 타겟은 대량 생산 공정에서 핵심 기능성 소재로 내장됩니다.

LG 디스플레이, 삼성 디스플레이, First Solar 등 선도적인 국제 디스플레이 및 광전지 기업은 OLED 패널 전극 코팅 및 CIGS 태양전지 후면 전극 제조에 고순도 지르코늄 타겟을 사용하여 낮은-저항, 높은-안정성 금속 박막 증착을 달성하고 대면적, 높은-균일 생산 요구를 충족합니다.

Lockheed Martin, Boeing, Northrop Grumman을 포함한 항공우주 및 방위산업의 고급 제조 회사는{0}}엔진 부품, 열 보호 시스템 및 레이더 스텔스 구조에 적용되는 고온, 내부식성-코팅의 PVD 증착을 위해 지르코늄 타겟을 사용합니다. 조달 표준은 엄격하여 AS9100D 인증 및 배치 COA 추적성을 준수해야 합니다.

Q: 은행 신용장도 받나요?

A: 예, 구매 대금 지불 방법으로 신용장(L/C)을 허용합니다. 계속 연락해주세요.

Q: 지르코늄 스퍼터링 타겟은 일반적으로 ISO 9001, IATF 16949 및 AS9100에 의해 인증됩니까?

A: 예, 산업 및 고급 응용 분야를 위한 지르코늄 스퍼터링 타겟 분야에서{0}}ISO 9001, IATF 16949 및 AS9100D 인증은 보편적이고 필수 입력 표준이 되었습니다.

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